松下CM402感应器MTKC003237AA/N610002222AA/KXF0DL5AA01
CM202感应器：
1、CM202限位感应器：KXF0DXAKA00
2、CM202真空感应器：KXF0DWP5A00/010DC082010/010DC182010
CM402感应器：
CM402真空感应器
1、CM402真空感应器（1-4头）:N610026749AA/KXF0DWVWA00/KXF0DWVWA01/N610040037AA
2、CM402真空感应器（5-8头）:N610027221AA/KXF0DWVXA02/KXF0DWVXA01/KXF0DWVXA00/KXF0DWVXA01
CM402 PHOTO SENSOR
1、CM402多功能头 Z轴原点SENSOR： KXF0DH4AA01(PM-L53-C1)
2、CM402 Y轴极限 SENSOR ：KXF0DKZAA00
3、CM402顶PIN升降感应器：KXF0DL0AA01
4、CM402 顶PIN升降感应器：KXF0DL2AA01
5、CM402 X轴极限感应器： N610006577AA/KXF0DL4AA01
6、CM402传板感应器 ：KXF0DSSAA00
7、CM402 PHOTO SENSOR：MTKC003237AA/ N610002222AA/KXF0DL5AA01
8、多功能头减震感应器;KXF0E1KUA00(PM-Y44)
9、CM402极限感应器N510028410AA
10、CM402 PHOTO SENSOR:KXF0DXAJA00
11、进板侧异物感应器：N610013591AA
12、感应器：N310P921S1
13、感应器：0307C081051
14、感应器：N610002221AA
15、感应器：N610088669AB
16、感应器：N310P915RS
CM602感应器
CM602真空感应器
1、CM602真空感应器（1-6头）：N610017022AD/ N610017022AC
2、CM602真空感应器（7-12头）：N610017023AC
CM602厚度感应器
1、CM602厚度感应器
DT401真空感应器
1、DT401真空感应器：N510025620AA/KXF0DQXAA00（1-3头）
NPM真空感应器
1、NPM真空感应器（16头）：MTNS000433AA/N510068524AA/N510054833AA（1-4）、MTNS000434AA/N510068525AA/N510054834AA（5-8）、MTNS000435AA/N510068526AA /N510054835AA（9-12）、 MTNS000436AA/N510068527AA/N510054836AA（13-16）
2、NPM真空感应器（8头）：MTNS000430AA/N510068516AA /N510048691AA（1-4）、MTNS000431AA /N510068517AA/N510048692AA（5-8）
3、NPM真空感应器（2头）：MTNS000432AA/N510068515AA/ N510058280AA/ N510048693AA /N510067405AA
NPM真空感应器（12头）：N510037015AB、N510037016AB
